זיהוי מוצר
|
פָּרִיט |
תוֹכֶן |
|
שם המוצר |
G4 חומצה גופרתית |
|
קָטֵגוֹרִיָה |
מוליכים למחצה רטובים אלקטרוניים כימיקלים |
|
שם כימי |
חומצה גופרתית |
|
נוסחה כימית |
\\(\\boldsymbol{H_2SO_4}\\) |
|
מס' CAS |
7664-93-9 |
|
משקל מולקולרי |
98.08 |
|
תקן כיתה |
כיתה SEMI G4 |
תיאור המוצר
חומצה גופריתית היא חומצה אי-אורגנית חזקה במיוחד-בטוהר- במיוחד המיוצרת לייצור פרוסות מוליכים למחצה מתקדמים. הוא מיוצר על ידי טיהור מיוחד ותהליכי סינון-עדינים במיוחד, וכולל זיהומי מתכת-נמוכים במיוחד ורמת חלקיקים מבוקרת, התואם למפרט SEMI G4. הוא נמצא בשימוש נרחב לניקוי פרוסות, הפשטת פוטו-רזיסט, הסרת שאריות אורגניות וטיפול פני השטח בייצור IC, מזעור סיכון הזיהום לתהליכי תפוקה-מיקרו{10}}קריטיים.
הוֹפָעָה:חסר צבע, נוזל שמנוני שקוף, חסר ריח.
מפרט טכני (תקן SEMI G4)
|
פריט בדיקה |
מִפרָט |
|
בדיקה (\\(H_2SO_4\\)) |
96.0 ~ 98.0% משקל |
|
הוֹפָעָה |
נוזל שמנוני חסר צבע ושקוף |
|
צבע (APHA) |
פחות או שווה ל-10 |
|
צפיפות @ 20 מעלות |
1.83-1.85 גרם/ס"מ³ |
|
שאריות אידוי |
פחות או שווה ל-100 ppb |
|
חלקיקים גדולים או שווה ל-0.2 מיקרומטר |
פחות או שווה ל-100 יח'\\מ"ל |
|
מתכת קורט בודדת (Al, Fe, Cu, Na, K, Ca, Mg, Zn, Ni, Cr וכו') |
פחות או שווה ל-10 ppb כל אחד |
|
כלוריד (\\(Cl^-\\)) |
פחות או שווה ל-100 ppb |
|
ניטראט (\\(NO_3^-\\)) |
פחות או שווה ל-200 ppb |
|
פוספט (\\(PO_4^{3-}\\)) |
פחות או שווה ל-200 ppb |
יישומים
1. ניקוי פרוסות מוליכים למחצה, הסרת מזהמים אורגניים, שאריות חלקיקים וזיהומים מתכתיים.
2. תהליך הפשטת Photoresist לייצור IC.
3. הכנת פתרונות כימיה רטובים מעורבים- לתהליך הקצה הקדמי- של מוליכים למחצה.
4.טיפול פני השטח לאריזה מתקדמת, מכשירי MEMS.
אריזה
● תוף HDPE 330 ק"ג
● תיק IBC במשקל 1500 ק"ג
● מיכל מיכל 20MT ISO (בתפזורת)
מלא בסביבת חדר נקייה- כדי למנוע זיהום משני.
אחסון וחיי מדף-
● אחסן במחסן קריר, יבש ומאוורר- היטב, שמור אטום היטב, הרחק מלחות, חום וחומרים שאינם תואמים.
● הימנע מאור שמש ישיר.
● חיי מדף-: 12 חודשים בתנאי אחסון מומלצים.
טיפול והערות בטיחות
● חומר קורוזיבי חזק. ללבוש PPE עמיד-לחומצה (משקפי מגן, כפפה חסינת חומצה, סינר) במהלך הפעולה.
● הוסיפו תמיד חומצה לאט למים; לעולם אין לשפוך מים לחומצה גופרתית מרוכזת (תגובה אקסותרמית חזקה).
● עיין ב-SDS המתאים למידע מלא על סכנות,-עזרה ראשונה, טיפול בנזילות והדרכה בנושא תחבורה.
אבטחת איכות
כל משלוח ילווה בתעודת ניתוח-ספציפית (COA). כל הליכי הייצור והמילוי פועלים לפי בקרת חדר נקי- כדי לעמוד בדרישות הזיהום SEMI G4.
תעודת ניתוח
|
שם המוצר |
צִיוּן |
מסה מולקולרית יחסית |
נוסחה מולקולרית |
|
חומצה גופרתית |
כימיקלים אלקטרוניים G4 |
98.07 |
H2כָּך4 |
|
בדוק פריטים |
מפרטים |
בדוק פריטים |
מפרטים |
|
הוֹפָעָה |
נוזל שקוף חסר צבע |
ניקל (Ni), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
בדיקה (H2SO4), % |
גדול או שווה ל-96.0 |
קופריק (Cu), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
כרומטיות, יחידות הייזן |
פחות או שווה ל-10 |
אבץ (Zn), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
שאריות שריפה (כגופרית), ppm |
פחות או שווה ל-2 |
Gallium (Ga), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
כלוריד (Cl), ppb |
פחות או שווה ל-50 |
גרמניום (Ge), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
ניטראט (NO3), ppb |
פחות או שווה ל-50 |
ארסן (אס), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
מלח אמוניום (NH4), ppb |
פחות או שווה ל-100 |
סטרונציום (Sr), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
חומר אשלגן פרמנגנט מופחת (asSO2), ppm |
פחות או שווה ל-2 |
זירקוניום (Zr), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
ליתיום (Li), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
ניוביום (Nb), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
בריליום (Be), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
מוליבדן (Mo), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
בורון (B), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
כסף (Ag), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
נתרן (Na), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
קדמיום (Cd), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
מגנזיום (Mg), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
פח (Sn), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
אלומיניום (אל), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
בריום (Ba), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
אשלגן (K), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
טנטלום (טא), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
סידן (Ca), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
זהב (Au), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
טיטניום (Ti), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
תליום (Tl), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
ונדיום (V), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
עופרת (Pb), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
Chromium (Cr), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
ביסמוט (בי), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
|
מנגן (Mn), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
חלקיקים (גדולים או שווה ל-0.2μm), מספר/מ"ל |
פחות או שווה ל-300 |
|
ברזל (Fe), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
חלקיקים (גדולים או שווה ל-0.3μm), מספר/מ"ל |
פחות או שווה ל-100 |
|
Cobalt (Co), ppt |
פחות או שווה ל-100 |
חלקיקים (גדולים או שווה ל-0.5μm), מספר/מ"ל |
פחות או שווה ל-5 |
תגיות פופולריות: כימיקלים אלקטרוניים g4 חומצה גופרתית, סין כימיקלים אלקטרוניים חומצה גופרתית g4 יצרנים, ספקים, מפעל

